学术活动

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学术讲座:用于ArF准分子放大器种子注入的固体深紫外激光

发表时间:2019-05-07

  报告题目:用于ArF准分子放大器种子注入的固体深紫外激光

  报告时间:2019年05月07日(周二)上午10:00-11:00

  报告地点:综合楼416会议室

  报 告 人:玄洪文 博士

  报告摘要:高功率、高相干性的193nm激光在未来的相干光刻制程、激光加工等方面有着重要的应用。使用高相干性的固体激光,作为种子注入到ArF准分子激光放大器中,可在193nm波长处同时获得高功率及高相干性。报告中,将具体介绍高平均功率193nm固体激光及ArF准分子激光放大的研究结果;同时,也将简要介绍和频过程中产生的高光束质量、高平均功率的258nm激光特性及其应用。